真空泵油是一种真空泵附件，可促进设备的高速运行，并且在选择时必须遵循某些要求。
上海真空泵配件中所需的泵油具有合适的粘度，可以使真空泵在低温下快速启动，在高温下泵油具有良好的密封性，并且泵内的泵油温升较低。不含轻挥发性成分，在使用过程中降低了真空泵的回油率。
饱和蒸气压是泵油的更关键指标之一。在恒温密闭容器中，气液两相达到动态平衡时的压力称为饱和蒸汽压。
油的饱和蒸气压应尽可能低。在泵的最高工作温度下，它必须仍然具有足够低的饱和蒸气压，并且必须低于真空泵的极限压力。在60℃的温度条件下，它必须至少达到6.5
× 10-5 kpa(温度每升高20℃，饱和蒸气压就会下降一个数量级)。
最终总压力：真空泵产生的所有物质(气体)的总压力由皮拉尼压力表或热电偶真空表测量。目前，国外关注全压测试指标。
极限分压：由紧凑型水银真空计(michetmeter)测量的泵的极限空气分压。两级旋片泵的分压应≤6×
10-5kpa。差异请求不超过一个数量级。两者之间的差异越大，泵油所含的挥发性成分就越多，并且油的性能越差。
摩擦表面的摩擦磨损，疲劳磨损和腐蚀磨损均与光滑条件有关。高性能的泵油有助于抑制腐蚀和磨损;能有效减少胶粘剂磨损和疲劳磨损;流体平滑剂对摩擦表面具有清洁作用，并且还可以减少摩擦和磨损。降低摩擦阻力以节省能量并减少磨损以延长机械寿命。
降低摩擦表面的温度是光滑度的重要功能。当摩擦表面移动时，必须限制摩擦力以进行工作。限制摩擦力所花费的所有功都转化为热量。结果，摩擦表面的温度升高。摩擦热量与光滑状态有关。高粘度的热量最大，低粘度的热量最小，边界处的摩擦热介于两者之间。可以看出，使用适当粘度的真空泵油不仅可以完成液体的光滑度，减少摩擦热的产生，而且可以将摩擦热及时带出泵体。