随着科学技术的不断发展，水环真空泵的使用自动化程度越来越高，降低了人们的工作难度。这与控制系统的发展密不可分。随着系统的不断完善和扩展，已经使用了许多专业术语。
1、受控对象
需要控制的真空设备或生产过程称为受控对象。例如，真空阀，真空泵，真空镀膜机，真空热处理炉等。
2、测量装置
测量受控量变化的装置。例如：真空计，温度计，膜厚测量仪等。
3、水环真空泵调节装置(调节器)
它将测量设备测得的受控子与真空过程中需要保持的给定值进行比较，获得偏差值，并根据设计的计算规则进行计算，并发送信号以使控制执行器起作用消除控制量与给定值的偏差。如模拟pid(比例，积分，微分)调节器，数字pid调节器(即微控制器，计算机)等。在真空装置的真空度控制中，通常将其与测量装置的真空计和致动器的真空调节阀组合以形成压力控制器。
4、执行机构
它接收来自调节装置的信号并产生调节效果，以消除受控量与给定值的偏差。例如，用于调节真空室中的真空度的调节阀和用于调节加热温度的调节器属于这种类型的机构。
5、控制数量
指在受控对象内实现控制所需的参数。例如：压力，温度，流量，膜厚等。
6、水环真空泵测量
由测量设备测量的控制量的实际值。
7、给定值
需要控制量保持恒定或根据预定值变化。
8、偏差
测量值与给定值之差。
9、干扰
是引起控制量变化的因素。有两种类型的干扰：一种是控制系统中各个环节所产生的干扰，称为内部干扰;另一种是内部干扰。另一个是系统在控制系统外部产生的干扰，称为外部干扰。
10、水环真空泵反馈
将输出信号发送回输入以增强或减弱输入的效果称为反馈。那些使输入信号更强的人称为正反馈。否则，它们被称为负面反馈。负反馈通常用于自动控制系统中。
11、调整过程是指控制系统受到外部信号(预设值或干扰)后，原始平衡状态被破坏。由于自动控制装置的调节作用，控制量恢复到原始平衡状态，或过渡到新平衡的过程。
12、位置调整
指当控制量偏离给定值时，执行器使执行器完全打开或完全关闭的调整。如用给定的压力上限和下限调节真空继电器的压力。
13、比例调整
调节器输出的信号与偏差的大小成正比，因此执行器的位置与偏差的大小相对应。它可以减小偏差，但不能完全消除偏差。
14、水环真空泵比例积分调节
调节器输出的信号不仅与偏差成正比，而且与时间的偏差成正比，因此执行器根据偏差的比例和积分定律进行调节，理论上为零偏差。
15、比例积分微分调节
这是一项综合调整，结合了比例，积分和微分的三个调整定律。调节器输出的信号不仅与偏差的大小和偏差存在的时间长短有关，而且与偏差变化的速度有关。
16、增大比例倍率kp来增大kp，可以减小静态偏差，但是系统的稳定性变差;否则，可以提高系统的稳定性，但静态偏差会变大。通常用调节器的比例放大率kp的倒数8表示，称为比例。
17、积分时间t表示积分调节的速度和强度的可调参数。在模拟积分调节器中，其值等于调节器积分回路的时间常数。
18、微分时间td
可调参数，指示调节器中差压调节的强度。在模拟差分稳压器中，其值等于稳压器差分电路的时间常数。
19、稳定性
指控制系统在干扰作用下结束过渡过程并达到平衡的能力。在消除干扰之后，能够恢复原始平衡状态的系统是稳定的。
20、水环真空泵的稳态精度
系指系统处于平衡状态时，控制量与给定值的偏差(即静态偏差)。
21、动态精度
指在给定信号的作用下随时间变化的系统精度。在定值系统中，动态精度是过渡过程中较大的动态偏差。
22、自动控制系统
自动控制装置与被控对象形成一个自动控制系统，可以使被控对象按照预定的规则动作，自动完成真空过程。如微电脑控制系统。
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