真空系统实际上是真空机组的类似术语。真空机组是由多个真空泵组成的一套闭环真空设备。它不一定有一些设备，如散热器和冷凝器。
但是一般可以称之为真空系统的是，所有种类的部件都是完整的。真空应用设备有很多种，但无论是哪种真空应用设备，都有一套抽气系统来排出真空容器中的气体，从而在真空容器中获得所需的真空条件。例如，用于真空处理的容器通过管道和阀门与真空泵相连。当真空泵抽空容器时，容器必须具有真空测量装置，该装置构成最简单的真空泵系统。与机组相比，真空系统中有多少台泵?这是不确定的，让我们先看看泵的可能名词解释。
主泵：在真空系统中，用来获得所需真空度以满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵是主泵。
前级泵：一种真空泵，用于保持某一真空泵的前级压力低于其临界前级压力。安装在如罗茨泵前面的旋片泵或滑阀泵是前级泵。
原泵：真空泵，从大气压力开始泵送空气，并将系统压力泵送到另一台真空泵开始运行。例如，真空镀膜机中的滑阀泵就是原油泵。
维护泵：在真空系统中，当空气量很小时，前级泵不能有效使用。因此，配置一个容量较小的辅助泵来维持主泵的运行，主泵被称为维护泵。如果扩散泵的出口装有一个小型旋转叶片泵，它就是维护泵。
事实上，简单的真空系统只能获得粗略的真空，而高真空泵通常串联在真空系统中，以获得比如罗茨泵和螺杆泵更高的真空。当高真空泵串联时，通常在高真空泵的入口和出口分别增加阀门，这样高真空泵可以独立维持真空。
据信，如果串联的高真空泵是油扩散泵，为了防止大量的油蒸汽回流进入被泵入容器，通常在油扩散泵的入口处增加一个——水冷挡板。根据需要，还可以在管道上增加除尘器、真空继电器表头、真空软连接管道、真空泵入口排气阀、散热器等，形成一个比较完善的高真空系统。