真空设备产品可分为五类:
(1)真空采集设备:产生,增强或维持真空的设备。包括各种用于粗,低,中,高和超高的真空泵和真空装置。
a.机械真空泵:凯发k8娱乐-k8凯发,往复泵,滑阀泵,罗茨泵,分子泵和液环泵。 b.蒸汽真空泵:蒸汽喷射泵,增压泵和扩散泵等。
c.气体捕集真空泵:钛溅射离子泵,低温泵,分子筛吸附泵和铝锆吸气泵等。 d.真空机组:由真空产生,真空测量和真空控制等组件组成的各种机组。
(2)真空施涂设备真空环境(大气中处于气态),各种施涂设备a,真空镀膜机:蒸发镀膜机,带磁控管的溅射镀膜机,离子镀膜机和等离子化学沉积设备等。
b.真空熔炉:电阻炉,电子束炉,电弧炉,感应炉和单晶炉等。 c.真空热处理炉:淬火炉,回火炉,退火炉,渗碳炉,渗氮炉,金属化炉等。
d.其他真空设备:冷冻干燥设备,蒸馏设备,净化设备,浸渍设备,果蔬保鲜设备,运输设备,空间模拟设备,包装机和铸钢脱气设备等。
(3)真空测量仪器:一种测量大气以下的气体和蒸汽压力的仪器。 a.低真空计(测量范围105-102pa)。
b.中真空压力表(测量范围10-1-10-1pa)c,高真空压力表(测量范围10-1-10-5pa)。 d.超高真空压力表(测量范围10-5 pa)。
(4)真空检漏仪是一种仪器,用于检测真空系统或部件中的泄漏位置或泄漏率。包括高频火花检漏仪,卤素检漏仪和氦质谱检漏仪。
(5)真空阀,用于安装流量的组件,用于切割或连接真空系统中的管道。包括挡板阀,挡板阀,电磁阀,电磁皮带吹扫阀,隔膜阀和调节阀等。