真空机组的高频放电是在两个电极之间存在交替的高频电场时发生的放电形式。当在放电管的两端施加交流电压时，气体中的电子和正离子将在交流电场的作用下产生额外的共振。因为正离子的质量比电子的质量大得多，所以共振幅度非常小。
当真空泵的频率较低且共振振动的幅度远大于两极之间的距离时，电子在每个半周期内经历崩溃，放电和熄灭的整个过程。此时的放电情况与dc情况相同。当频率更高时，共振振动的幅度远小于两极之间的距离，随着电子的继续来回移动，其电离能力将大大提高。因为电子共振的幅度非常小，所以进入电极的电子数量将大大减少。
由于电子的扩散速度快于离子，因此扩散的结果是，在轴上出现正电势，在管壁上出现负电势，这又产生了一个由轴指向的静电场。管壁。因此，放电管中有两种类型的电场，一种是围绕磁场线的涡旋电场，另一种是从轴指向管壁的静电场。在这两个电场的同时作用下，电子围绕着轴移动，同时向着管壁膨胀，从而形成了一系列同心环。由于不同半径的电子的能量不同，所以能级和激发量也不同，因此具有不同半径的光环具有不同的颜色。
简而言之，干式真空泵中的高频放电实际上意味着电子继续来回移动，并且电离能力得到增强。此功能可以减少设备的功耗并节省电费，从而节省使用成本并降低电路成本。