罗茨真空泵不能单独使用。必须配备前级泵。前级真空泵用于降低罗茨真空泵的排出压力。由于罗茨真空泵的压缩比受到限制,因此选择前级真空泵的抽速。
重要的是,罗茨真空泵的最大压缩比随排出压力而变化。在高排出压力下,最大压缩比高达3:1,最高压缩比为1至10 mbar。介于(1 mbar = 0.75 torr)至50:1之间,甚至更高。因此,应根据罗茨真空泵的长期工作压力范围选择前级泵的抽速。
例如,有一个系统使用罗茨真空泵装置抽空气,在1毫巴的入口压力下需要600升/秒的抽速,并且工作很长时间,询问前级泵应该多少选择。
首先假设使用30升/秒的前级泵,当k = 20时,压缩比k = 600:30 = 20,从上图开始,最大排出压力为30毫巴。
因此,当使用30升/秒的前级泵时,在低于1.5毫巴的入口压力下工作是可行的,但是当在高于1.5毫巴的入口压力下操作时使用更大的前级泵。在这种情况下,工作真空在1.5毫巴以下1毫巴,因此30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的泵送要求。
另外,应该考虑如果正常工作时间长于预提取时间,则可以选择较小的前泵。如果真空室很大并且需要预抽真空,则需要使用较大的前级泵,有时为了更好地利用设备的效率,该装置配备了更大的预泵,这是正常运行后停止,并使用较小的前级泵进行维护,以节省电力。
在选择前级泵时,还必须考虑罗茨真空泵装置的最终压力要求。对于极限真空度(高达1x10-3pa~1x10-2pa压力),两级旋片式油封机械泵或两级滑阀机械泵作为前级泵。极端真空需要一个单级油封机械泵作为(1x10-2pa和1x10-1pa)之间的前级泵。极限真空要求介于133和1333pa之间。可以使用往复式真空泵或液环真空泵作为前部。
当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1 / 2-1 / 4,不能太大,否则将超过压缩比。很大,导致罗茨真空泵的排气温度很高,无法正常工作。
选择前级泵时,还必须考虑泵送气体中是否存在腐蚀性介质,是否含有可冷凝气体,无论是大还是小。如果含有腐蚀性气体,则不能使用油封机械泵。油封机械泵不适合泵出含有大量可冷凝蒸汽的气体。否则,密封液将快速乳化,并且将除去含有可追踪可冷凝蒸汽的气体。同时,还必须使用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。
为了在低入口压力(1~100pa)下获得高泵送速率,凯发k8娱乐-k8凯发可用作另一台罗茨真空泵的前泵的三级或四级单元。这时,罗茨真空泵两者之间的抽速一般在2到5之间。
一般而言,选择前级泵的原则如下:
1.需要由前级泵操作主泵所需的预真空条件。
2.在主泵允许的最大排气压力下,前级泵必须及时排出主泵排出的最大气体量。前级泵的抽速必须与泵在实际入口压力下的实际抽速一致。
3.兼作预泵的前级泵应满足预抽时间和预真空度的要求。