真空机组是一系列支撑真空泵真空辅助结构中，各种配管，集成传感器，真空计，测量装置，电气控制系统，这取决于指定的主泵，到真空低真空应用机组的类型，真空泵机组，高和超高真空机组真空机组。
1.低真空设备是采矿大气式真空泵的大致直的行，正排量往复式泵，水泵，机械密封的泵，螺旋真空泵，真空泵，以及湿式喷射泵，分子筛吸附泵等，一工作高压的低真空机组，大的位移，用于真空输送，真空浸渍，真空过滤，真空脱气真空干燥机等。
2.大部分的真空机组罗茨真空泵机械密封，罗茨真空泵的诸如水的组合和双环罗茨真空泵。用无油螺杆真空泵被广泛使用，罗茨真空泵无油螺杆真空机组被逐渐增加，需要高的泵送速度和获得的各种真空真空系统，例如，应用程序，如涂层机，真空熔炼真空热处理和医药化学品，电焊接等行业。
3.以高真空机组分子流状态工作，该范围内的操作压力10-2〜10-6pa，小排量，泵送速度，泵的主要扩散泵，分子泵，钛升华泵系，如在低温冷凝泵不会在空气直接工作，必须在泵之前被配置等是预先泵送，并且泵被保持为油箱被进一步配置，以防止空气的压力波动。
4.在超高真空机组10-6〜10-10pa的压力范围，限制到主真空泵10-7〜10-8pa以上时，压力范围，以确保由一个材料构成的系统的适当的抽速能够承受200〜450℃焙烧在高温下的要求，并确保低泄漏率和空气的速度。
真空机组系统是一个真空机组密钥参数“的真空度（负压或增压）”，“流”的数据，例如实时监测，自动调整，如“真空包装”完成“，自动定时关机，启动”定时定量‘像称为真空系统控制系统真空过滤’功能。
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