螺杆真空泵于半导体设备意义重大:
若半导体器件不同材料层之间混入气体分子,会破坏器件的电学或光学性能,而真空系统可对芯片的性能和良率起决定性作用。
半导体真空泵应用:
晶圆制造过程中的单晶拉晶、loadlock、刻蚀、cvd、ald、封裝、测试等清洁或严苛制程。
atlas螺杆真空机拥有vsd和设定点控制功能,而常规的真空泵是不具备这样的功能的,可根据实际所需真空水平或速度,提供需求的真空气量,避免造成浪费,atlas螺杆真空泵是真空领域的节能减排真空系统,节能可达50%,深受用户好评。
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